Probleem op deze pagina?

Project: GEMINI : Generic Electronics and Microsystems Integration Initiative

SBO: Strategisch Basis Onderzoek (opvolger van GBOU)
01/03/2007
28/02/2011
48 Maanden

Ontwikkeling van een generische multilaag MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) procesmodule die gebruikt kan worden voor de integratie van microsystemen bovenop CMOS. De nadruk ligt op het generisch en gemengd karakter van de procesmodule: zowel poly-kristallijn SiGe als polymeren en metalen zullen gecombineerd worden in een module om zodoende een variëteit aan MEMS structuren mogelijk te kunnen maken.

Dankzij het generisch karakter van de te ontwikkelen technologie zijn toepassingen te vinden in heel wat Vlaamse economische sectoren :
* automobielindustrie : inertiële sensoren
* beeldverwerkingsindustrie : spiegels en diffractieve roosters
* telecommunicatie : SiGe resonatoren, MEMS verpakking, inducatieve systemen
* gebruikersmarkt : sensoren voor uurwerken, speelgoed, wasmachine, gps, joysticks, ...
* gezondheidszorg : inertiële sensoren voor ouderen, inductieve data- en vermogenoverdracht.

-

Drie verschillende demonstratoren zullen gemaakt worden om de generische natuur te demonstreren :
* micro-spiegel matrix voor beeldvorming
* diffractieve roosters
* inertiële sensoren + spoelen voor communicatie en vermogenoverdracht.

UGent, Fac. Ingenieurswetenschappen, Vakgr. Informatietechnologie, Afd. Fotonica; UGent, Vakgr. Elektronica en Informatiesystemen, Onderzoeksgroep Dunne-Filmcomponenten; KUL, Dept. Elektrotechniek, Afd. ESAT-MICAS

IMEC VZW, Afd. Microsystems, Components & Packaging
IMEC
Kapeldreef 75 B-3001 HEVERLEE (LEUVEN)
016/28.18.32
Neen
François Stassijns
Micromachining
Kurt Peys, Lindsley Valero (SDHyperion (i.c.)), Bert Bellens (Werken en Leren vzw), Sam Lefebvre (Saleconix), Stany Denayer (Cassidian Belgium), Luc Verhoeven (Just Innovation), Desmet Tim (Agfa Materials), Luc Larmuseau (iLLumoo)
http://www.imec.be
Share this on